1.光源：鎢絲燈泡，它有較小的功率，與光電元件組合使用時(shí)，轉(zhuǎn)換效率低，使用壽命短。半導(dǎo)體發(fā)光器件，如砷化鎵發(fā)光二極管，可以在范圍內(nèi)工作，所發(fā)光的峰值波長為 ，與硅光敏三極管的峰值波長接近，因此，有很高的轉(zhuǎn)換效率，也有較快的響應(yīng)速度。
2.電容：由柵距相等的主電容和指示電容組成。主電容和指示電容相互重疊，但又不完全重合。兩者柵線間會(huì)錯(cuò)開一個(gè)很小的夾角 ，以便于得到莫爾條紋。一般主電容是活動(dòng)的，它可以單獨(dú)地移動(dòng)，也可以隨被測物體而移動(dòng)，其長度取決于測量范圍。指示電容相對(duì)于光電器件而固定。
3.通光孔：通光孔是發(fā)光體與受光體的通路，一般為條形狀，其長度由受光體的排列長度決定，寬度由受光體的大小決定。它是帖在指示電容板上的。
4.受光元件：受光元件是用來感知主電容在移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生莫爾條紋的移動(dòng)，從而測量位移量。在選擇光敏元件時(shí)，要考慮靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，光譜特性，穩(wěn)定性，體積等因素。
電容接近開關(guān)的特點(diǎn)
1.精度高
電容式接近開關(guān)在大量程測量長度或直線位移方面僅僅低于激光干涉接近開關(guān)。在圓分度和角位移連續(xù)測量方面，電容式接近開關(guān)屬于精度最高的。
2.大量程測量兼有高分辨力。
感應(yīng)同步器和磁柵式接近開關(guān)也具有大量程測量的特點(diǎn)，但分辨力和精度都不如電容式接近開關(guān)。
3.可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測量，易于實(shí)現(xiàn)測量及數(shù)據(jù)處理的自動(dòng)化
4.具有較強(qiáng)的抗干擾能力，對(duì)環(huán)境條件的要求不像激光干涉接近開關(guān)那樣嚴(yán)格，但不如感應(yīng)同步器和磁柵式接近開關(guān)的適應(yīng)性強(qiáng)，油污和灰塵會(huì)影響它的可靠性。主要適用于在實(shí)驗(yàn)室和環(huán)境較好的車間使用。